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激光驅動白光光源
單點激光驅動光源技術，并將其命名為LDLS（Laser Driven Light Source），該類光源不僅可以在170 nm至2100nm的光譜范圍內提供超高發光亮度，而且整個光源的發光壽命相比較于傳統光源也高出了整整一個數量級。
激光驅動光源

EQ-99X-CAL LDLS
LDLS 激光驅動光源

EQ-99X-QZ-S
LDLS 激光驅動光源

EQ-99X-FC-S
激光驅動光源

EQ-400 LDLS
激光驅動光源

EQ-77 LDLS
激光驅動光源

EQ-9 LDLS
10 Watt EUV 光源

EQ-10
20W EUV 光源

EQ-10HP
高脈沖重頻10 kHz EUV 光源

EQ-10HR
軟X射線 (SXR)光源

EQ-10SXR
激光驅動可調諧光源

TLS-EQ-9
激光驅動可調諧光源

TLS-EQ-77
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